Bağlantılar
Genel Hesap Yönetimi

Bilgi Bankası - Destek Talebi

Lisanslı yazılımlar, kablosuz internet, kampüs dışı erişim gibi birçok konuda bilgi edinebilir, yardım talebinde bulunabilirsiniz.

Destek Sayfası

Erzurum Teknik Üniversitesi

Yüksek Teknoloji Uygulama ve Araştırma Merkezi

Malzeme Bilimleri

Yapısal, Optik ve Morfolojik Özelliklerin Analizi ve Tayini

İnorganik ve organik yapılı malzemelerin elementel, morfolojik, yapısal, kimyasal, optik ve elektriksel özelliklerini mikro ve nano ölçekte çeşitli analiz cihazları ve teknikleri kullanarak karakterize ediyoruz. Bu analizler için ileri teknolojik spektroskopi ve görüntüleme teknikleri kullanarak araştırmacılara ve endüstriye güvenilir ve hassasiyeti yüksek sonuçlar sunuyoruz. Bu analizleri; toz veya katı numunelerde, ince filmlerde, metalik malzemelerde, biyomalzemelerde, biyomedikal ürünlerde ve cihazlarda, inorganik ve organik yapılarda, mineral örneklerinde, jeolojik örneklerde, ham maddelerde, seramik ve camlarda, plastiklerde ve mikro/nano aygıtlarda gerçekleştiriyoruz.


Aygıt Üretimi ve Karakterizasyonu

Günümüz teknolojileri alanındaki gelişmeleri esas alarak; araştırmacılar ve endüstrinin ihtiyaç duyduğu ileri teknoloji ürünlerinin üretimini ve tasarımını yapıyoruz. Optik ve gaz sensörleri, biyosensörler, ışık yayan diyotlar (LED),Lazerler, fotokatalizör diyotlar, güneş hücreleri, yakıt pilleri, transistor gibi mikro ve nano aygıtların prototip üretimi ve karakterizasyonunu farklı sınıflardaki temiz odalarımızda (100, 1.000 ve 10.000 sınıfları) ve laboratuvarlarımızda ileri teknolojik cihaz ve ekipman altyapımız ile gerçekleştiriyor.

Temiz Oda (Clean Room)

Endüktif Bağlaşımlı Plazma Aşındırma (ICP-RIE) Sistemi (SI 500 ICP-RIE)

Randevu al
Plazma aşındırma sistemi  yüzey sıcaklık ayarı ile yüksek kalitede plazma aşındırma işlemleri yapar. Dinamik sıcaklık kontrollü ICP substrat elektrotu, -150 ° C ile +400 ° C arasındaki geniş bir sıcaklık aralığında mükemmel işlem koşulları sağlar. Düşük iyon enerjisi ve dar iyon enerjisi dağılımı nedeniyle, ICP plazma aşındırma aracı ile düşük hasarlı dağlama ve nano yapılaşma gerçekleştirilebilir. CP plazma aşındırma sisteminde waferlar 200 mm çapa kadar çok çeşitli yüzeyler taşıyıcılara yüklenen parçalara işlenebilir. Tek wafer vakumlu yük kilidi, istikrarlı işlem koşullarını garanti eder ve işlemlerin kolayca değiştirilmesini sağlar. III-V bileşik yarı iletkenler (GaAs, InP, GaN, InSb), dielektrikler, kuvars, cam, silikon, silikon bileşikleri (SiC , SiGe) ve metaller dahil çeşitli malzemelerin işlenmesi için yapılandırılabilir.

 

 

Plazma Destekli Kimyasal Buharlaştırma Yöntemiyle İnce Film Kaplama (PECVD) Sistemi (DepoLab 200)
Randevu al
Dielektrik filmlerin (örneğin SiOx, SiOxNy, SiNy katmanları) 2 "ila 8" çapındaki tek bir wafer üzerinde biriktirilmesi için doğrudan erişimli bir paralel plaka PECVD aracıdır. 13.56 MHz'de 300W'lık RF gücü, otomatik bir eşleştirme ağı kullanarak üst elektrota beslenir. İsteğe bağlı olarak, 300 ila 500 kHz arasındaki LF gücü, stres kontrolü için üst elektrota beslenebilir. Substrat elektrotu 200 ° C ile 400 ° C arasında sıcaklık kontrollüdür. Gaz akışı, RF / LF güçleri ve reaktördeki basınç gibi iyi tanımlanmış proses koşulları yazılım tarafından belirlenir ve otomatik olarak kontrol edilir. En az 2” en fazla 4” wafer tabakası üzerine ince film kaplama yapılabilir. 13.56 MHz'de 300W gücünde RF kaynağı mevcuttur. 10 Torr Baratron basınç sensörü bulunur. 

 

 

 

Dönel Kaplama Cihazı (Laurell WS-650MZ-23NPPB) 
Randevu al



Bir sıvının bir substrat veya yarıiletken bir wafer üzerine tam olarak dağıtılmasını ve ardından düzgün, hatasız bir film elde etmek için döndürülmesini içerir. Maksimum 12.000 RPM dönüş hızına sahiptir. 150 mm / 6 inç'e kadar yuvarlak yüzeyler ve 125 mm / 5 inç'e kadar kare yüzeyler için kaplama yapılabilir. 
Termal İnce Film Kaplama Sistemi (NVTH-350)
Nanovak Kutu tipi Fiziksel Buhar Biriktirme sistemi prizmatik vakum odasına sahiptir. SistemDE 4 adet termal kaynak bulunur. İki, üç veya dört farklı malzemeden oluşan çok katmanlı ince filmler hazırlanabilir. Si, Al, Ti, SiO, Au, Ag, WO, BaF2, MgF2 gibi çok katmanlı, nano metalik, oksit, florür veya nitrür filmler üretmek için kullanıcı arzularına uyacak şekilde uyarlanabilir. 120 ° C'ye kadar iç pişirme seçeneği mevcuttur. 10-8 Torr ana basınç seviyesi, 20 dakikada 2x10-6 Torr vakum seviyesine sahiptir. Geniş (1000 - 10-9 Torr) vakum kontrol ve ölçüm sistemi, 50-700 ° C PID numune ısıtma seçeneği ve 2-30 rpm ayarlanabilir numune rotasyon ünitesi mevcuttur. 2 adet kuarts kristal ile 0.1Å / s çift kanallı hassas kalınlık oranı ölçüm birimi bulunur. 2x2 kanal, 12V - 200A sıralı / birlikte buharlaştırma yapılabilir. En fazla 4” en az 1” düzgün numune ve lamellere ayrıca kırpık numuneler üzerine kaplama yapılabilir. In, Zn, Cd, P, Sn, Pb malzemeleri ve benzeri düşük sıcaklıklarda yüksek buhar basınç değerine sahip olan malzemeler ile kaplama yapılamamaktadır. 

 

 

 

 

Saçtırma Sistemi (NVTS-400)
Nanovak kutu tipi Fiziksel Buhar Biriktirme sistemi, prizmatik vakum haznesine sahiptir. Bu sistem birlikte buharlaşmayı sağlayan 2 adet termal buharlaştırma, 1 adet DC ve 2 adet RF saçtırma kaynağına sahiptir. Saçtırma sistemleri ile çok katmanlı, farklı malzemelerden yapılmış ince filmler hazırlanabilir. Kombine Sistem, Si, Al, Ti, SiO, WO, BaF2, MgF2, Ti02, Si3N4, SiO2, TiN gibi çok katmanlı, nano metalik, oksit, karbür veya nitrür filmleri üretmek için kullanıcı arzularına uyacak şekilde uyarlanabilir. RF Güç kaynağı, 13,6 MHz, 300 - 1200 W., DC Güç kaynağıise, 0 - 1000 V ve 2000 W'dır. İsteğe bağlı 50 - 700 ° C ± 1 ° C hassasiyetinde PID kontrollü numune ısıtması ve 2 - 30 rpm numune döndürme birimi ile sürekli hız ayarı mevcuttur. Yüklü sistem için 10-8 Torr ana basınç seviyesine sahiptir, bir saatte 10-7 Torr vakum seviyesine ulaşabilir. 2 adet kuarts kristal ile 0.1Å / s çift kanallı hassas kalınlık oranı ölçüm birimi sayesinde hassas kalınlık ölçümü yapılabilir. En fazla 4” en az 1” düzgün numune ve lamellere ayrıca kırpık numuneler üzerine kaplama yapılabilir. In, Zn, Cd, P, Sn, Pb malzemeleri ve benzeri düşük sıcaklıklarda yüksek buhar basınç değerine sahip olan malzemeler ile kaplama yapılamamaktadır. 

 

 

 

 

Materyal Araştırma Mikroskobu (ZEISS Axio Scope A1)
Fluoresans modülü de içeren ZEISS Axio Scope A1 ile, iletken kaplamanın kalitesi, analiz edilen film kalınlığı veya kaplamasından bağımsız olarak hızlı ve kolay bir şekilde belirlenebilir. 6 adet Objektif’e kadar kullanım özelliği, 6 kontrast modülü (aydınlık alan, karanlık alan, fluoresans, polarizasyon, DIS, C-DIC), ergonomik tüp ve ergonomik tutuş, 105 x 105 mm’ye kadar ölçme alanı boyutu, 380mm yüksekliğe kadar parçalar için analiz imkanı, Halojen ve HXP aydınlatma seçenekleri, Axiocam mikroskop kameraları ve AxioVision yazılımı mevcuttur. 

İleri Spektroskopi Laboratuvarı

 X-Işını Kırınım Cihazı (XRD EXPLORER)

Yüksek çözünürlüklü difraktometre sistemi, 0.00001°‘lik bir açısal hassasiyete ulaşmasını sağlayan, optik kodlayıcılar tarafından kontrol edilen yüksek verimli, doğrudan tahrikli tork motorları (Direct Drive Torque Motors) içermektedir. EXPLORER X-Işındifraktometresi’nin hizalamayı gerektirmeyen modüler yapısı sayesinde, toz, ince film, düşük (SAXS)ve geniş(WAXS) açı saçılımı, Stress ve Texture analizleri yapılmaktadır. (Numune boyutu: Dörtgen kesitli ise maks/min 25x25 mm ve yuvarlak kesitli ise çap değeri maks/min 25 mm olmalıdır) 
UV-VIS-NIR Spektroskopisi(UV-3600 Plus)
UV-VIS-NIR spektrofotometre cihazı, yüksek duyarlılıkta, yüksek çözünürlükte ve ultra karanlık elde etmek için en yeni teknolojiyi kullanarak fizik, gıda bilimi, eczacılık, yaşam ve kimya bilimlerinde ARGE çalışmaları için yüksek performanslı analiz yapma imkanı suna. Temel özellikler / avantajlar şunlardır: Üç dedektörle donatılmış ultraviyole ve görünür bölgeler için PMT (foto-çoğaltıcı tüp) ve ölçülen tüm dalga boyu aralığında yüksek hassasiyet sağlamak için yakın kızılötesi bölge için InGaAs ve soğutmalı PbS dedektörleri. Yüksek çözünürlüklü ultra-düşük ışıksız ışık seviyesi (340 nm'de maksimum 0.00005%). 185 ila 3300 nm geniş dalga boyu aralığı ultraviyole, görünür ve yakın kızılötesi bölgelerde ölçüm sağlar. 
FT-IR Spektrofotometresi

Cihazdaki interferometre yüksek hassasiyet sunar. Bu hassasiyet LabSolutions IR Kirletici Analiz Makrosuyla birlikte, küçük numunelerin daha kolay, daha hızlı ve daha doğru analizini mümkün kılar. Cihazdaki mevcut dedektör tasarımı 60.000: 1 S / N oranı ile çalışmaktadır. 

 

İleri Görüntüleme Laboratuvarı

Taramalı Elektron Mikroskobu (SEM-Quanta FEG 250)


Quanta FEG 250 taramalı elektron mikroskobu (SEM), üç modlu (yüksek vakum, düşük vakum ve ESEM) olarak çok yönlü analiz için yüksek performanslı sağlamaktadır. Quanta FEG 250 SEM sistemi, enerji dağılımlı spektrometre, dalga boyu dağılımlı X-Işınları spektroskopisi ve elektron geri yansıması kırınımı gibi analitik sistemler ile donatılmıştır. Buna ek olarak, alan emisyon tabancası (FEG) sistemleri, parlak alanlı ve karanlık alanlı örnek görüntüleme için bir S / TEM dedektörü içerir. (Analiz için maksimum numune boyutları: Dörtgen kesitli numuneler için 30x30 mm ve yuvarlak kesitli numuneler için maksimum çap değeri 30 mm. Biyolojik örnekler sabitlenmiş olmalı)
3D Optik Mikroskobu (Bruker-Contour GT)

3D Optik Profilometre, melzemenin yüzey topografisini hassas şekilde belirlemek için tasarılanmış yeni bir ARGE standardı oluşturmada kullanılmaktadır. Hasas pürüzlülük, 2D / 3D ölçüm özellikleri, yüksek çözünürlüklü görüntüleme ve endüstrinin en gelişmiş arayüzü ile sistem kompleks yüzeylerde bile yüksek performans göstermektedir. Bu cihazda opaklık değeri %0.05 - %100 aralığında olan numunelerin analizi yapılmaktadır. 
Parçacık Görüntüleme ve Hız Ölçüm Sistemi (PIV- Particle Image Velocimetry) 

PIV sistemi, temel akışkanlar dinamiği konusundaki araştırmalardan, ürün geliştirme ve optimizasyon çalışmalarına kadar birçok alanda iç ve dış akış incelemelerinde kullanılmaktadır. Rüzgar tüneli, su tüneli, taşıt aerodinamiği vb. iç ve dış akış uygulamalarında yaygın olarak kullanılmaktadır. PIV temassız (non-intrusive) bir teknik olup akışı takip eden mikron ölçeğinde küçük parçacıkların hızlarını ölçmektedir.   Mikroskopik akışlardan, süpersonik akışlara kadar her türlü hız alanına uygulanabilen PIV sistemleri ile: ·         Anlık vektörel hız haritası ·         Akış çizgileri (Streamline) ·         Girdaplılık (Vorticity) ·         İstatistik ve türbülans ölçümleri ·         Zaman çözünürlüklü ölçümler yapılabilir.   Esnek grid (ağ) tasarımı ile sonuçlar Hesaplamalı Akışkanlar Dinamiği (CFD) ile benzerlik gösterir.

Eklemeli Üretim Laboratuvarı

Lazer Ergitme (Concept Laser MLab-Selective Laser Melting)
Maksimum güç :  100W
Maksimum üretim boyutları (x,y,z) : 90,90,80 mm
Maksimum lazer tarama hızı : 7 m/s
Katman kalınlık aralığı : 15-30 µm
Odak çapı : 50 µm  -   316L Stainless Steel
Mevcut tozlar  :  Ti6Al4V Grade 23 -  CoCrW
 

Biyomekanik Laboratuvarı

Yorulma ve Dinamik Test Cihazı
Yorulma test sistemleri biyomedikal,işlenmiş parçaların yorulma ve dinamik testler için kullanılmaktadır. Çaprazkafanın ayarlanabilmesi, eyleyiciye montajlı yük hücresi ve korozyona dayanıklı T taban özellikle tuzlu banyoda gerçekleştirilen biyomedikal numune testleri yapılabilmektedir. Konsol yazılımı; dalga hareketli sinyal oluşturulması, kalibrasyon, sınır (limit) belirlenmesi ve durum izlemesi de dahil sistemin tam kontrolünün bilgisayardan yapılmasını sağlar. WaveMatrix™ dinamik test yazılımı ile malzemelerin ya da ürünlerin basit ve ileri seviyede döngüsel testlerini gerçekleştirebilirsiniz. Bluehill yazılımı ise size her türlü statik test imkanını sunar. ±25kN'ye kadar dinamik test imkanı vardır. (Dörtgen kesitli numuneler için maksimum boyut 7mm ve dairesel kesitli numuneler için maksimum çap değeri 8 mm olmalıdır)
-Üç ve dört noktadan eğilmeli yorulma testleri cihazda rahatlıkla yapılabilmektedir.
-Dental ve spinal implant testleri için kullanıma uygundur (Uluslararası standartlara göre).
 




Statik Test Cihazı
Yük ölçüm doğruluğu: +/-%0,5; 1/500 yük hücre kapasitesinin altında okunur (2850 Serisi yük hücreleri) yük, uzama ve gerilim kanallarında aynı anda 1 kHz hıza ulaşan veri edinimi 0.00005 -3.000 mm/dak hız aralığı. Test alanına rahat erişim için düşük taban yüksekliği, özelleştirilebilen kontrol Paneli, Bluehill® 2 Yazılımı ile uyumludur. Yük hücreleri ve ekstensometreler için otomatik transdüzer tanıma ekstra yüksek ve geniş seçenekler mevcuttur
 




Burulma Test Cihazı
Öncelikli olarak malzeme ve ürünlerin orta kapasiteli (450 µNm - 225 Nm) burma testleri için tasarlanan MT burulma sistemleri; yüksek doğrulukta, minimum doğrusal sürtünme değerleri ile çoklu dönüş kabiliyetinde ve burulmaya karşı yüksek katılığına sahip sistemlerdir. Sistemin tork hücresi, test sırasında kenetlenbilen veya serbest dönebilecek şekilde bırakılabilen çaprazkafaya tutturulmuştur. Serbest dönecek şekilde bırakıldığı zaman kullanıcı, ağırlık veya makara düzeneği kullanarak eksenel ön yükleme uygulayabilmektedir. Instron’un I-Serisi Kontrol Elektroniği ve Bluehill® Universal ile elektromekanik sürüş kapalı çevrim servo-kontrolü ile sağlanır.

Triboloji Laboratuvarı

Tribometre (Bruker UMT)

Tribometre hem ARGE'de hemde Endüstride malzemelerin tribolojik özelliklerini belirlemede çokça tercih edilmektedir. Bruker UMT tribometre, triboloji-sürtünme, aşınma, yük, sertlik ve yağlamanın araştırılmasını sağlar. (Örnek boyutları: Dörtgen kesitli numuneler için minimum 20x20 mm ve yuvarlak kesitli numuneler için minimum çap değeri 20 mm olmalıdır).
-Yük değer aralığı: 0-100N arası tüm yüklerde analiz yapılabilmektedir.
-Pin on disk için kullanıma uygundur. 
ETÜ Asistan Snow